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产品技术
半导体
集成电路
iTomic® HiK系列原子层沉积系统
iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统
先进封装
iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统
MEMS
iTomic® HiK系列原子层沉积系统
iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
iTomic® Lite系列轻型原子层沉积系统
硅基微显示
iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
泛半导体
iTomic® HiK系列原子层沉积系统
iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
iTomic® Lite系列轻型原子层沉积系统
其他
Trancendor®晶圆真空传输系统
光伏
硼扩散
羲和®系列高温低压系统
退火
羲和®系列高温低压系统
隧穿氧化/多晶硅沉积
祝融系列ZR5000×2管式PECVD ToxPoly All-in-one 系统
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统
正膜Al₂O₃/SiNₓ
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统
正膜Al₂O₃
夸父®系列KF20000批量式ALD系统
背膜SiNₓ
祝融系列ZR5000×1管式PECVD系统
阻隔封装
电子传输层 SnOₓ
界面层/封装层 AIOₓ
产业化应用中心
产业化应用中心
iTomic® MW Lite批量轻型系列原子层沉积系统
iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统
朱雀系列粉末原子层沉积系统
后羿®系列 板式ALD系统
iSparol系列卷对卷ALD系统
背膜SiNₓ
祝融系列ZR5000×1管式PECVD系统
祝融系列ZR5000×1管式PECVD系统突破性解决传统管式PECVD的产能瓶颈，可与beat365官方最新版ALD钝化技术无缝对接，确保PERC、TOPCon、XBC等高效电池生产。以先进技术和装备高度集成，形成高质量、高产能、低成本的产业化量产。
销售邮箱
semisale@leadmicro.com
产品特点
适用于 PERC, PERT, TOPCon, XBC 等高效电池技术的应用
1
优异的温度和等离子体控制系统与高载片量，辅助搭配 ALD 钝化薄膜，提升效率与降低生产成本
2
精准制备 SiNx, SiONx, SiC, SiOx 等复合钝化膜，精准控制各层光学参数与厚度
3
优异的薄膜厚度均匀性
4
前台热线：
0510-81975900
公司地址：
江苏省无锡市新吴区长江南路27号
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