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产品技术
半导体
集成电路
iTomic® HiK系列原子层沉积系统
iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统
先进封装
iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统
MEMS
iTomic® HiK系列原子层沉积系统
iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
iTomic® Lite系列轻型原子层沉积系统
硅基微显示
iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
泛半导体
iTomic® HiK系列原子层沉积系统
iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
iTomic® Lite系列轻型原子层沉积系统
其他
Trancendor®晶圆真空传输系统
光伏
硼扩散
羲和®系列高温低压系统
退火
羲和®系列高温低压系统
隧穿氧化/多晶硅沉积
祝融系列ZR5000×2管式PECVD ToxPoly All-in-one 系统
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统
正膜Al₂O₃/SiNₓ
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统
正膜Al₂O₃
夸父®系列KF20000批量式ALD系统
背膜SiNₓ
祝融系列ZR5000×1管式PECVD系统
阻隔封装
电子传输层 SnOₓ
界面层/封装层 AIOₓ
产业化应用中心
产业化应用中心
iTomic® MW Lite批量轻型系列原子层沉积系统
iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统
朱雀系列粉末原子层沉积系统
后羿®系列 板式ALD系统
iSparol系列卷对卷ALD系统
正膜Al₂O₃
夸父®系列KF20000批量式ALD系统
夸父系列工业批量型原子层沉积系统采用365体育原创的反应腔体设计和先进的薄膜沉积及自动化集成技术,可为高效晶硅太阳能电池表面钝化提供高质量超薄钝化膜的制备，确保电池光电转换效率的进一步提升。基于成功量产机型的设计原理，夸父系列 ALD薄膜钝化系统是beat365官方最新版原创设计的第五代产品，代表了光伏行业国产创新设备的先进技术，在提供超高产能的同时,最大程度降低设备的运营成本，为客户提供可靠的量产解决方案，引领光伏产业化高效电池智能化制造。
销售邮箱
semisale@leadmicro.com
产品特点
适用于PERC, PERT, TOPCon, XBC, HJT, Perovskite, Tandem-Cell等高效电池技术的应用
1
可制备薄膜包括Al₂O₃, SiO₂, TiO₂, ZnO, SnO₂, HfO₂, ZrO₂等
2
单腔最大装片量可达3360片/批次，兼容M10-M12硅片尺寸，升级切换简单
3
精确实现原子层级薄膜厚度控制（1-10 nm，可调），具备优异的薄膜厚度均匀性
4
独立运行反应腔体，确保最大化设备运行率（>99%）
5
提供定制化复杂纳米叠层工艺以及CVD兼容功能
6
前台热线：
0510-81975900
公司地址：
江苏省无锡市新吴区长江南路27号
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