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产品技术
半导体
集成电路
iTomic® HiK系列原子层沉积系统
iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统
先进封装
iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统
MEMS
iTomic® HiK系列原子层沉积系统
iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
iTomic® Lite系列轻型原子层沉积系统
硅基微显示
iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
泛半导体
iTomic® HiK系列原子层沉积系统
iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
iTomic® Lite系列轻型原子层沉积系统
其他
Trancendor®晶圆真空传输系统
光伏
硼扩散
羲和®系列高温低压系统
退火
羲和®系列高温低压系统
隧穿氧化/多晶硅沉积
祝融系列ZR5000×2管式PECVD ToxPoly All-in-one 系统
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统
正膜Al₂O₃/SiNₓ
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统
正膜Al₂O₃
夸父®系列KF20000批量式ALD系统
背膜SiNₓ
祝融系列ZR5000×1管式PECVD系统
阻隔封装
电子传输层 SnOₓ
界面层/封装层 AIOₓ
产业化应用中心
产业化应用中心
iTomic® MW Lite批量轻型系列原子层沉积系统
iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统
朱雀系列粉末原子层沉积系统
后羿®系列 板式ALD系统
iSparol系列卷对卷ALD系统
产业化应用中心
iTomic® MW Lite批量轻型系列原子层沉积系统
iTomic MW Lite批量轻型系列ALD系统，设备以国产化零部件为主导，可满足高端研发和新工艺试量产需求，尤其适用于，新型太阳能电池以及显示行业应用。
销售邮箱
semisale@leadmicro.com
产品特点
采用最新自主设计开发的模块化自动平台与ALD反应腔
1
实现可自由选择的半自动或全自动ALD系统
2
满足各类晶圆尺寸（4、6英寸）的工艺需求，适用于客户高端研发和新工艺开发
3
4寸晶圆可实现单批次装载450pcs
4
薄膜均匀性优，可实现片内＜1.5%
5
满足供应链高比率国产化需求
6
前台热线：
0510-81975900
公司地址：
江苏省无锡市新吴区长江南路27号
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