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先进封装
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Trancendor®晶圆真空传输系统
光伏
硼扩散
羲和®系列高温低压系统
退火
羲和®系列高温低压系统
隧穿氧化/多晶硅沉积
祝融系列ZR5000×2管式PECVD ToxPoly All-in-one 系统
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统
正膜Al₂O₃/SiNₓ
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统
正膜Al₂O₃
夸父®系列KF20000批量式ALD系统
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祝融系列ZR5000×1管式PECVD系统
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产业化应用中心
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iOptomic 系列原子层沉积系统
iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统
后羿®系列 板式ALD系统
iSparol系列卷对卷ALD系统
iTomic® MW Lite批量轻型系列原子层沉积系统
其他
Trancendor®晶圆真空传输系统
Trancendor®平台系列是beat365官方最新版独立研发的、适用于高产能半导体制程设备的晶圆传输系统。该系统可根据客户工艺需要,灵活挂载一至多个工艺腔体(每个工艺腔体可配备一至多个工作站)在真空环境下进行快速高效晶圆传输。
销售邮箱
产品特点
针对各种机械运动产生的颗粒、金属污染等严苛需求,进行特殊设计,可有效避免晶圆表面微尘和金属污染
1
提升平台的产能输出的设计
2
提升系统服务性的特殊设计
3
具备晶圆传输位置的自动校准功能,确保传送精确度和工艺均匀性等要求
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