用于 PERC, TOPCon, XBC等高效电池技术路线的应用
1
优异的温度控制和等离子控制系统，可兼容PECVD工艺，搭配超高载片量的石墨舟设计，在确保设备产能的同时大幅提升电池转换效率
2
精准制备薄膜厚度小于2nm的隧穿氧化硅，同时兼容多种材料与工艺，包括 SiO₂/poly-Si(n+), poly-Si(p+), Al₂O₃/SiNx 等
3
提供 TOPCon 量产工艺 PEALD/ PECVD 路线集成技术，钝化接触技术所需多晶硅原位掺杂浓度（1E20~1E21）可调
5
针对新型PE-TOPCon电池技术核心的隧穿氧化层与多晶硅薄膜研发了可镀导电膜、原位掺杂与无爆膜的管式PEALD/PECVD ToxPoly同管集成技术，研究成果被广泛转载并成功完成产业化
6
