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后羿(HY)系列ALD/PEALD/PECVD链式薄膜沉积系统

    后羿(HY)系列ALD/PEALD/PECVD链式薄膜沉积系统采用365体育核心技术,专用于沉积异质结(HJT)和钙钛矿等高效电池的非晶/微晶、掺杂层、阻水阻氧、致密保护层等薄膜材料。以工业产线模块化为核心设计思路,为客户提供高薄膜质量、高产能、高可靠性、低制备成本、低投资成本的先进设备解决方案。


    1、模块化可灵活选择的腔体和工艺;

    2、多单元气体分布系统;

    3、快速均匀热场;

    4、等离子体电场大面积高均匀性;

    5、各类硅片尺寸兼容性强。





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