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朱雀系列粉末原子层沉积系统

    朱雀系列粉末原子层沉积系统,采用自主研发设计的反应器结构设计和先进的镀膜沉积技术,为各种粒径大小的微纳粉体表面沉积多种材料,并实现极限保形和均匀的薄膜沉积效果。适用于粉末包覆改性的研发及中试量产,具有灵活和多功能等特点。  

     

    1 系统具备多种配置,可兼容流化、振动等功能,实现粉体材料的充分分散,提高粉末的包覆效率和镀膜包覆性能,降低综合成本;

    2 配备集成手套箱,,可用于湿度敏感材料的开发;

    3 可升级挂载多种化学源,可开发多种ALD材料,例如 TiO2 ZnO SiO2等;

    4 易于更换的料盒粉末过滤器,可减少粉末批次间的污染;

    5 用户界面简单明了,触摸屏控制操作方便。


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